Zum Dünnen von Proben stehen verschiedene Methoden zur Verfügung:
- Mechanische Trennen und Schleifen (in den ersten Schritten der Probenpräparation)
- Elektrolytisches Polieren (normalerweise zum abschließenden Dünnen von Metallen)
- Ionenstrahlätzen (für sowohl Metalle als auch dielektrische Werkstoffe)
Entscheidend ist in jedem Fall, dass eine bei der vorbereitenden mechanischen Präparation beschädigte Schicht beim anschließenden elektrolytischen Polieren oder Ionendünnen vollständig entfernt wird.
Das Dünnen wird solange fortgesetzt, bis sich nahe der Scheibenmitte ein Loch bildet. Daraufhin wird das elektrolytische Polieren bzw. Ionendünnen sofort unterbrochen. Der dünne, abgeschrägte Bereich um das Loch ist normalerweise extrem dünn und mit Elektronen durchstrahlbar.
Wird das elektrolytische Polieren oder Ionendünnen zu lange fortgesetzt, wird der dünne Bereich um das Loch abgetragen. Das restliche Material kann dann für eine Elektronendurchstrahlung zu dick sein.