TargetSystem 特性
- 微电子元器件的目标制备
- 自动可靠的目标制备
- 可见与隐藏目标的分析
- 显著缩减制备时间
- 不受操作人员技能影响
- 完美的再现性
- 无需成本昂贵的磨料薄膜
TargetSystem 设计用于微电子组件和扁平化目标制备。这是第一款失效分析工具，可对可见目标和隐藏目标进行实时对齐和测量，例如微型穿孔和 BGA。系统精度高达 +/- 5 µm。
较短的制备时间
智能制备系统 (IPS) 可根据实际样品属性和研磨/抛光表面自动调整消除时间和速率。这意味着可将测量和制备时间缩减至 30 分钟以内。
再现性
自动化工艺使得 TargetSystem 不受操作人员技能的影响，无论何人操作都可确保再现性。
降低运行成本
TargetSystem 可与任何 SiC 纸或其他耗材配合使用，无需成本昂贵的研磨薄片。
案例故事：博世克卢日工程中心如何将隐藏目标制备精度提高到 5 µm以内
可实现可见目标和隐藏目标自动制备的关键设备
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TargetMaster
TargetSystem 的核心组件是 TargetMaster，一个配有封闭抛光室的 200 mm 的微型抛光机，能够保证制备质量以及保护操作人员。由电子测量系统控制初始制备步骤的去除，以便快速接近靶目标。辅助线性激光测量系统可处理要求严格的抛光步骤。
TargetMaster
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TargetZ
TargetZ 可使用可视（外部）目标对齐和测量样品。凭借放大倍数高达 680 的功能强大的可视系统及其 15" 的 TFT 监测器，TargetZ 可轻松映射和对齐微小靶目标。
TargetZ
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TargetX
TargetX 适用于隐藏式（内部）靶目标，并配有设置台和控制台。设置台位于用户 x 射线（不包含）中，可通过外部控制台进行操作，执行实时对齐和测量。
TargetX
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TargetDoser
TargetDoser 是一种自动化配料台，可为 TargetMaster 提供制备方法和工艺液体。TargetDoser 配有七个泵和 10 个预编程的方法，可容纳 200 个用户定义的方法。
TargetDoser
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TargetGrip
TargetGrip 是专用于 TargetMaster 的可倾斜样品夹。其可容纳直径长达 40 毫米的安装样品。用于大型样品 (TARIN) 的适配器，横截面 (TARSC) 和平行抛光 (TARPA) 以及 40 mm 到 25 mm 是适配器 (TARAD)，也可作为 SEM 底座。
TargetGrip
事实
机型号
TargetSystem
TargetMaster
适用于自动目标制备的 200 mm 微型抛光机。适用于 30 mm 试样并且包括 200 mm MD-Disc 的可翻转夹具。
加液系统需要单独订购。
适用于自动目标制备的 200 mm 微型抛光机。适用于 30 mm 试样并且包括 200 mm MD-Disc 的可翻转夹具。
加液系统需要单独订购。
Struers 设备符合适用的国际指令及其从属标准的规定。由于 Struers 产品将会不断进行产品开发，因此，我们有权对我们的产品进行任何变更，恕不另行通知。
技术数据
TargetSystem 技术数据表
Struers 技术数据表用于帮助您根据自己的具体需求做出最佳选择。您可以查看重要信息，例如容量和性能规格、尺寸、重量、电气数据、噪声水平、环境条件和安全性。在许多情况下，您还可以概览提供更高容量和性能的配件。
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研磨和抛光耗材
挑战
罗伯特·博世 (Robert Bosch) 在罗马尼亚的汽车电子部门曾寻找能够改善其微电子板切割结果的方法。 其挑战在于，在不造成试样变形的情况下，在 BGA（电子元件）表面下制备很小的隐藏目标。
解决方案
与 Struers 应用团队合作，为罗伯特·博世公司开发了新的制备流程，以最大限度减小变形。 他们选择了可用于可见目标和隐藏目标的 TargetSystem 自动目标制备系统以及 Accutom 精密切割机。
结果
罗伯特·博世公司使用 TargetSystem 实现了以下结果：
• 使质量和精度提高了 +/- 5 µm
• 缩短了抛光/研磨准备时间
• 减少了耗材，节省了时间和资金
Alexandru Siean，失效分析技师，罗伯特·博世公司——博世克卢日工程中心
阅读该案例故事
正确的制备方案
“更确切的结构也需要适当的正确应用。不同材料特性需要广泛的应用知识。Struers 应用专家是优化制备方法方面的专家，因为应用知识是选择正确的制备解决方案所必需的。您的材料 - 我们的应用解决方案。”
Birgitte Nielsen
应用专家，Struers ApS
会见客户
不要只听我们说！从使用我们设备和技能的客户经验中寻求真理。我们询问了一些忠诚客户，向其了解他们认为的 Struers 最重要的品质。
我们使用 Struers 设备和耗材已经有近 30 年的时间了，其无与伦比的服务和应用支持使我们获益匪浅。John Crane UK Ltd.英语 Bill Taylor 材料和鉴定工程师
我们对 Struers 提供的高效服务非常满意。他们总是能快速、高效地满足我们的需求。BRP Powertrain GmbH & Co.KG (Austria) Herr Thomas Brunmair 材料实验室主管
自从采用了 Struers 设备，人力需求下降，生产力提高，从而节省大量生产流程成本。Nissan Motor Manufacturing UK Ltd. John Smart 生产主管