Microelettronica
Da un punto di vista metallografico, i componenti microelettronici possono essere suddivisi in tre tipi di campioni:
- Wafer di silicio
- Circuiti integrati (IC) e componenti
- Schede a circuito stampato (PCB)
Da un punto di vista metallografico, i componenti microelettronici possono essere suddivisi in tre tipi di campioni:
Le sezioni sottili del lingotto cilindrico di silicio vengono sottoposte a preparazione metallografica per l'analisi, mediante microscopia a infrarossi e Spettroscopia FTIR.
La produzione dei wafer prevede numerosi processi ripetitivi per produrre circuiti elettronici integrati su tutta la superficie del substrato, e il successivo taglio in singoli chip.
L'ispezione di piccole sezioni parallele o trasversali del wafer nella sua forma non incapsulata, viene effettuata dopo un'accurata lucidatura materialogica. I dettagli del circuito integrato vengono esaminati al microscopio ottico o elettronico, in base alla scala e al tipo di analisi.
Le sezioni sottili del lingotto cilindrico di silicio vengono sottoposte a preparazione metallografica per l'analisi, mediante microscopia a infrarossi e Spettroscopia FTIR.
La produzione dei wafer prevede numerosi processi ripetitivi per produrre circuiti elettronici integrati su tutta la superficie del substrato, e il successivo taglio in singoli chip. L'ispezione di piccole sezioni parallele o trasversali del wafer nella sua forma non incapsulata, viene effettuata dopo un'accurata lucidatura materialogica. I dettagli del circuito integrato vengono esaminati al microscopio ottico o elettronico, in base alla scala e al tipo di analisi.
1. Dimensioni minime richiedono apparecchiature e accessori speciali adatti alla lavorazione di piccoli campioni. Processi materialografici come il taglio e la prelevigatura, richiedono una precisione maggiore per via delle dimensioni dei campioni, generalmente dell'ordine dei µm.
2. Assemblaggi complessi dei materiali sono frequenti nella microelettronica, dove i metalli teneri, le ceramiche e i compositi sono spesso strettamente assemblati. La scelta dei metodi e dei parametri di preparazione è quindi un compromesso che dev'essere attentamente selezionato per soddisfare specifici requisiti.
3. Preparazione controllata e precisa è essenziale quando gli obiettivi da esaminare sono piccoli. Le soluzioni di alta precisione meccanica, apparecchiature di misurazione ottica e arresti meccanici sono le moderne soluzioni automatizzate o ottimizzate della più elementare tecnica "grind-and-look".
A seconda del tipo di campione da analizzare, è possibile eseguire il taglio con diverse troncatrici di precisione.
Per il taglio di materiali plastici si consiglia di utilizzare un disco diamantato galvanico o un disco diamantato con legante resina.
In ogni caso il taglio dev'essere eseguito sufficientemente lontano dall'area da osservare, per evitare di danneggiarla direttamente. Il materiale rimanente può essere accuratamente rimosso dopo il sezionamento. Più sarà accurata questa fase iniziale, meno sarà la probabilità di formazione di crepe nella ceramica, nei chip e nel vetro, o che si verifichi una delaminazione degli strati o dei punti di saldatura.
Per l'estrazione di coupon da PCB, viene utilizzata un'apparecchiatura di campionamento dedicata. Le tecniche di automazione e misurazione ottica consentono la perforazione e la fresatura ad alta precisione di coupon selezionati. Per campioni sensibili o di piccole dimensioni, si consiglia di impregnarli prima del taglio.
Le resine inglobatrici a freddo, con basse temperature di indurimento, sono consigliate per evitare l'influenza del calore su saldature e polimeri. Per campioni piccoli o fragili come i wafer di silicio, è preferibile utilizzare una resina a basso ritiro per ridurre al minimo il rischio di cricche.
I metodi di inglobamento variano in base al metodo di analisi utilizzato.
Nei sistemi dedicati, i componenti possono essere inglobati direttamente nello speciale portacampioni utilizzato ad esempio, per l'ispezione delle microvie o per la preparazione finale.
Le apparecchiture convenzionali possono essere utilizzate per eseguire la prelevigatura e lucidatura di componenti microelettronici. L'allineamento dei campioni e il controllo della rimozione del materiale sono assicurati da speciali portacampioni, un'alternativa molto più precisa del metodo di prelevigatura manuale "grind-and-look".
Alcuni esempi di combinazioni di materiali da considerare nella scelta di metodi di prelevigatura e lucidatura, sono le sezioni parallele e trasversali di wafer di silicio sottili e fragili, matrici di sfere di saldatura (BGA), piombo o stagno, schede PCB con microvie placcate in rame su substrati ceramici fragili o polimerici duttili, sezioni trasversali di circuiti tra cui silicio, ceramica, oro, rame, alluminio e stagno di poche centinaia di micron.
Requisiti come quantità di rimozione, planarità, rilievo, ritenzione dei bordi e sbavatura, sono spesso decisivi per la scelta delle superfici e sospensioni per la prelevigatura e lucidatura. L'e-Metalog per i componenti elettronici contiene circa 25 metodi dedicati che coprono un'ampia combinazione di materiali e requisiti di preparazione.